力合科技回应半导体车间空气监测业务

证券之星3月18日发布消息,力合科技在投资者关系平台上回应了大家对其半导体车间空气监测业务的疑问。投资者问到公司在半导体AMC监测方面的进展,公司董秘介绍,自主研发的LFGCMS-100系统集成了VOCs在线富集、GC-MS FID联用检测等功能,通过软件协同工作,能够24小时连续监测100多种VOCs组分,现在已经给半导体车间用了。 有人还问力合科技在AMC监测中有没有用化学电离飞行时间质谱法,董秘表示目前没有用到这种技术。还有人想知道产品能否实现ppt级的浓度控制,董秘说部分参数可以做到这个水平。力合科技给出的监测方案包括颗粒物、无机气体和挥发性有机气体等多方面,这些内容由AI算法生成,不是投资建议。