深圳技术大学建成半导体微纳加工与测试公共平台 补齐“光载信息”“智能传感”关键环节

在半导体产业全球化竞争加剧的背景下,我国产业链上游制造能力不足的问题日益凸显。

特别是在化合物半导体领域,高端光电芯片的研发与量产长期受制于工艺设备和技术壁垒。

深圳技术大学此次建成的微纳加工平台,正是瞄准这一"卡脖子"难题的重要突破。

该平台的建成具有多重战略意义。

从硬件配置看,2600平方米的作业空间内,2100平方米达到千级至百级洁净标准,其工艺完整性在国内高校系统中首屈一指。

平台集成了光刻、刻蚀、薄膜沉积等半导体制造全流程设备,能够同时支持化合物光电芯片与MEMS传感芯片的研发需求。

这种全链条服务能力,有效解决了以往科研机构因设备分散导致的研发效率低下问题。

值得关注的是,平台的运营模式体现了产学研深度融合的创新思路。

深圳技术大学已与清华大学深圳国际研究生院等8家单位签署合作协议,合作范围涵盖联合实验室共建、人才联合培养、技术成果转化等多个维度。

这种"高校牵头、多方协同"的运作机制,既避免了重复建设造成的资源浪费,又能通过优势互补加速技术突破。

业内专家指出,该平台的投运将产生三重积极影响:其一,为粤港澳大湾区半导体企业提供就近的技术支持,降低研发成本;其二,通过"工艺教学+中试验证"模式培养复合型技术人才;其三,推动量子通信、新型显示等前沿领域的产业化进程。

深圳光峰科技等签约企业表示,平台的测试表征能力将显著缩短产品从实验室到生产线的周期。

面对全球半导体产业格局深度调整的机遇,该平台的建设凸显出深圳打造集成电路产业第三极的战略布局。

据深圳市工信局数据显示,2022年当地集成电路产业规模已突破1600亿元,但设计、制造、封测环节发展不均衡的问题仍然存在。

此次平台重点突破的化合物半导体领域,正是补齐制造短板的关键抓手。

深圳技术大学半导体微纳加工中心与测试平台的落成,是高校服务区域产业发展的生动实践。

在国家加快推进科技自立自强、建设粤港澳大湾区国际科技创新中心的大背景下,这一平台通过整合教学、科研、产业资源,搭建起从基础研究到产业应用的完整链条,为半导体芯片产业的高质量发展注入了新的动力。

随着平台的投入运营,相信将涌现出更多具有自主知识产权的创新成果,助力我国半导体产业在关键领域实现突破,进一步巩固大湾区在全球科技创新中的竞争地位。