在光通信、激光传感还有红光、蓝光、绿光这些前沿光电领域,TO管座因为密封性好又散热快,一直是核心光电器件的主要封装形式。不过,TO封装结构复杂,对设备要求极高,以前的共晶机在处理它时经常卡住、受热不均匀、位置也对不准。针对这种情况,深圳市锐博自动化设备有限公司推出了ET-505高精度TO共晶机。这个设备没有采用通用架构,而是专门为TO管座设计了机械传动和视觉系统,方便热沉(Submount)和芯片(LD/PD)的高精度封装。 首先是硬件架构设计上的创新。ET-505的设计完全贴合TO管座的特殊物理形态。1.它配备了一个专门翻转手指机构,能够夹持管座并精确翻转90度送入共晶台,这样上下料就顺畅多了,运转效率也提高了。2.设备支持一个管座上同时共晶两颗物料,比如热沉和芯片。通过流水线进出料和独立上料6寸晶圆的方式,把复杂工艺简化了不少,每小时稳定能生产480个(±5%)。3.X轴采用高响应直线电机驱动还有大理石架构,保证贴装精度在±10μm以内和角度在±1°内。 视觉系统和力控系统也是非常先进的。1.配备了6套独立CCD工业相机和500万像素传感器。这几个摄像头负责搜索热沉和芯片、正面校准、共晶观察还有全局监控。2.吸嘴采用电木/金属材质并搭配拉力弹簧来控制下压力在10g到50g之间,保护脆弱的芯片。3.吸嘴还有SMC真空检测传感器防漏吸和氮气破真空装置防止微小芯片偏移。 温度控制也是一个亮点。1.共晶台可以从常温加热到450℃,温度波动控制在±5℃以内。2.采用热氮气和冷氮气双重保护系统来防止氧化和冷却焊接。 在光通信向高速率、高功率发展的大趋势下,锐博ET-505精准抓住了TO管座封装的痛点(兼容TO56、TO9、TO38)。它不仅参数厉害,在实际量产中也表现出色。现在已经有很多头部企业用它了。选择ET-505就是选择了可靠和量产确定性。智能半导体,成就智慧未来。