吉林大学成功解决单晶金刚石制备难题

吉林大学高压与超硬材料全国重点实验室深耕超硬材料研发60余年,从1987年制成首片CVD金刚石起,到2026年先后取得了2英寸单晶、毫米级六方金刚石以及界面优化等关键成果,现已构建起国内最完整的金刚石全产业链条。这一体系既为国家自主可控发展奠定了坚实基础,也给全球碳基半导体技术带来了全新方案。 近日,吉林大学邹广田院士团队成功解决了高质量单晶金刚石制备的难题。他们把“台阶流调控技术”这一拥有自主知识产权的原创工艺研发出来,配合激光隐形切割技术,剥离了厚度350微米的自支撑晶圆,使其尺寸与结晶质量都达到了国际先进水平。这种技术还把工艺流程简化了,让成本降了下来。为了让制备出来的晶体品质更高,他们特意找到了“单晶生长区”,避免了边缘出现多晶伴生的现象。此外,他们还通过研究发现,“一致台阶流”能够让籽晶拼接缝实现平滑过渡。 金刚石凭借卓越的物理和电学性能被称作“终极半导体”,它在功率电子、射频器件还有量子信息这些前沿领域有着广阔的应用前景。现在这套完整的技术体系正好支撑起了我国在下一代超宽禁带半导体战略材料制备上的关键一步。为了验证器件集成效果并推动产学研融合,吉林大学赵明明编辑、王首道主编以及于悦审阅了相关内容。随着行业发展和产业化落地的加速推进,金刚石的商业化黄金期已经到来。 这次研究成果已经发表在了国际学术期刊《FunctionalDiamond,2026,6,2620820》上。文章的来源是彩练新闻和吉林发布这两个平台。