今天给大家介绍一款特别厉害的机器，叫做 SuperView WT3000，它是一款二合一轮廓仪，能把白光干涉和共聚焦模式合二为一。为什么说这个机器好用呢？以前测复杂样件简直是折磨，跑来跑去换仪器，浪费时间还伤脑。但有了 SuperView WT3000，就省事多了。它把两套光学系统都放进一个电动机座里，关键就在那个5孔电动物镜塔台上。这个塔台可以让你一键切换不同的模式。 以前你要是想测超光滑表面的曲率半径（ROC），得先把仪器调到白光模式，再通过超高分辨率抓矢高h来计算曲率半径R。这下可好了，SuperView WT3000直接给你自动跑公式算这个R。这个R可不能小看，在1.6T光模块里，纳米级偏差都能让信号传输出问题。如果遇到像 MLA 旁边那种角度特别陡（比如超过70度），或者光线特别暗的深槽就需要用到共聚焦模式了。共聚焦模式能钻进死角里面去补漏。 这种一次装夹就能搞定各种复杂样品的全能表征方法才叫真正的工业自动化。 SuperView WT3000集成了两种不同模式的优点：白光干涉适合平、滑、透的极限精度测量，纵向分辨率高达0.1nm；而共聚焦显微镜适合那些陡、糙、暗的复杂还原情况，最大可测倾角71.8度。这么看来，二者其实不是替代关系，而是绝佳拍档。 举个例子来说吧：如果你要测超光滑晶圆或者镜片，直接上白光模式就行了；如果你要测陡峭金字塔绒面或者金属断口就用共聚焦模式吧！